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SmarAct直线纳米位移台

专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其Stick-Slip驱动技术，强大的激光干涉仪检测技术，可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统，广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

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General Details

SmarAct直线纳米位移台

SmarAct可以提供各种系列的直线纳米位移台，型号众多的SLC系列及基于它的SHL系列升降台，超长行程的SLL系列，以及超紧凑的SL系列。
产品特点
  • 亚纳米级高精度兼具大行程
  • 灵活组维，可做复杂系统定制
  • 小体积，大负载
  • 移动速度nm/s-cm/s
  • 可选真空(10-6 mbar)和超高真空(10-11 mbar)兼容
  • 可选用非磁性材料，
  • 可选超低温环境兼容
  • 高性能导轨，可选超长寿命
  • 断电可纳米级锁定
  • 低热漂移&高共振频率
  • 可选低振动模式适用于原子力显微等场景
Stick-Slip驱动技术
 

Ⅰ. 压电驱动器通过和其连接一个摩擦元件与导轨或者轴承的滑动模块接触，压电驱动器本身安装于一个固定的组件。

Ⅱ. 压电驱动器长度随外加电压成正比增加，只要摩擦元件不被过快加速，滑动模块将跟随摩擦元件以相同加速度向前移动。这个阶段被称为Stick-phase.

Ⅲ. 压电驱动器迅速收缩，滑动模块所受惯性力比摩擦力大，摩擦元件在滑动模块表面产生滑动。这样滑动模块保持在其位置不变，摩擦元件随压电驱动器归位。这个阶段被称为Slip-phase。重复Ⅱ和Ⅲ阶段，滑动块就可以步进实现宏观的移动。

Ⅳ. 在Stick-phase阶段，压电驱动器以亚纳米分辨率缓慢伸长，来移动滑动块。这种模式称为scan模式。
应用领域
• 光学研究： 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节
• 扫描电镜/光学/原子力显微镜：样品、探测器/光源定位、样品操作
• 自动化控制：低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成
• 材料应用：缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量
• 天文、航天航空： 高加速度、低压、低温条件下控制
• 度量衡学：长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量
• 生命科学：细胞操作、膜片钳、计数&分选
SLC系列

SLC系列直线纳米位移台

SLC-17系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重复精度
SLC-1720 12 mm 22 x 17 x 8.5 mm3 ± 25 nm
SLC-1730 21 mm 30 x 17 x 8.5 mm3 ± 30 nm
SLC-1740 26 mm 40 x 17 x 8.5 mm3 ± 40 nm
SLC-1750 31 mm 50 x 17 x 8.5 mm3 ± 50 nm
SLC-1760 41 mm 60 x 17 x 8.5 mm3 ± 60 nm
SLC-1770 46 mm 70 x 17 x 8.5 mm3 ± 70 nm
SLC-1780 51 mm  80 x 17 x 8.5 mm3 ± 80 nm

除SLC-1770和SLC-1780，可选低温实验（如液氦温度）版本，也可加热至+150℃.

SLC-24系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重复精度
SLC-2430 16 mm 30 x 24 x 10.5 mm3 ± 30 nm
SLC-2445 29 mm 45 x 24 x 10.5 mm3 ± 45 nm
SLC-2460 35 mm 60 x 24 x 10.5 mm3 ± 60 nm
SLC-2475 49 mm 75 x 24 x 10.5 mm3 ± 75 nm
SLC-2490 63 mm 90 x 24 x 10.5 mm3 ± 90 nm
SLC-24105 69 mm 105 x 24 x 10.5 mm3 ± 105 nm
SLC-24120 83 mm 120 x 24 x 10.5 mm3 ± 120 nm
SLC-24150 103mm 150 x 24 x 10.5 mm3 ± 150 nm
SLC-24180 123mm 180 x 24 x 10.5 mm3 ± 180 nm

SLC-2430, SLC-2445和SLC-2460，可选低温实验（如液氦温度）版本，也可加热至+150℃.

其他参数及选项

  • 开环步进：50-1500nm
  • 压电扫描范围>1.5μm
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>20mm/s
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载：3kg
    • 1720&2430: 2kg
  • 可选闭环驱动器及分辨率
    • -M: 100nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
    • -L: 4nm(MCS控制器), 50nm(HCU/CU控制器)
    • -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
  • 非磁性材料选项：-NM
  • 高真空和超高真空选项：-HV(10-6 mbar),  -UHV(10-11 mbar)
  • 阻塞力增强选项：-D, +1.5N
  • 氧化发黑选项：-BK
  • 低振动模式选项：-LV
  • 长寿命导轨选项：-Z
SL系列

SL系列微型直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
SL-0610 4.5 mm 11 x 11 x 5.2 mm3 3 g
SL-0620 11 mm 21 x 11 x 5.2 mm3 6 g
SL-0630 16 mm 31 x 11 x 5.2 mm3 9 g

SL-0610，可选低温实验（如液氦温度）版本，也可加热至+150℃.

其他参数及选项

  • 开环步进：50-1500nm
  • 压电扫描范围：1.5μm
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>13mm/s
  • 阻塞力≥1N
  • 垂直负载：100g
  • 高真空和超高真空选项：-HV(10-6 mbar),  -UHV(10-11 mbar)
SLL系列

SLL系列滑块式直线纳米位移台

型号 导轨长度 尺寸 精度
SLL12 70-475 mm 33.8 x 27 x 13 mm3 1 nm
SLLA42 70-1480 mm 54 x 60 x 13 mm3 1 nm
SLLV42 70-1480 mm 54 x 60 x 13 mm3 1 nm

其他参数及选项

  • 开环步进：50-3000nm, 50-1500nm(SLL12)
  • 压电扫描范围：3μm, 1.5μm(SLL12)
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>20mm/s
  • 阻塞力≥5N, ≥3N(SLL12)
  • 垂直负载：3kg
  • 可选闭环驱动器及分辨率
    • -M: 100nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
    • -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
  • 可选限位支架
  • 高真空和超高真空选项：-HV(10-6 mbar)，除SLLA42.
SHL系列

SHL系列升降式直线纳米位移台

型号 行程 最大举力 精度
SHL-1D20N-10 10 mm 20 N 1 nm
SHL-1D80N-1 1 mm 80 N 1 nm
SHL-3D5N-1 10 mm 5 N 1 nm

其他参数及选项

  • 开环步进：50-3000nm, 50-1500nm(SLL12)
  • 压电扫描范围：0.5μm
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>9mm/s
  • 可选闭环驱动器及分辨率
    • -L: 4nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
    • -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
  • 氧化发黑选项：-BK
  • 高真空和超高真空选项：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)