SmarAct DLS直线纳米位移台

混合驱动线性位移台,扫描范围10μm,行程21mm.

基本信息

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DLS系列直线纳米位移台-混合驱动技术

DLS-32系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
DLS-3232 21 mm  32 x 32 x12 mm3 50 g
  • 压电扫描范围>10μm
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:500g
  • Z向使用举力>1.5N
  • 无负载振荡频率>700Hz
  • 扫描截止频率>35Hz

DLS-52系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重量
DLS-5252 30 mm 52 x 52 x 15 mm3 150 g
  • 压电扫描范围>35μm
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:500g
  • Z向使用举力>1.5N
  • 无负载振荡频率>350Hz
  • 扫描截止频率>10Hz

其他参数及选项

  • 闭环控制
    • 速度>20mm/s
    • 分辨率(MCS2控制器):1nm(-S)
  • 材质选项:标准钛座材质,铝座材质(-AL)
  • 真空兼容性:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
  • 无磁选项:-NM