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SmarAct SGO角位移台
德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其专利的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。
Categories: SmarAct光机械, 光学机械
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General Details
SmarAct角位移台
SmarAct可提供各种半径的SGO系列角位移台 |
型号 | 半径 | 体积 | 行程 |
SGO-60.5 | 60.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
SGO-77.5 | 77.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
SGO-93.5 | 93.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
其他参数及选项
- 开环步进:0.7-7 μrad
- 压电扫描范围:10.5 μrad
- 压电扫描精度:0.01 μrad
- 速度:4 °/s
- 垂直负载:500g
- 可选闭环驱动器及分辨率
- -M: 1.5 μrad(MCS控制器), 4.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -L: 0.12 μrad(MCS控制器), 1.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -S: 0.03 μrad/2μ°(MCS控制器)
- 高真空和超高真空选项:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 长寿命导轨选项:-Z
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