SmarAct SLC直线纳米位移台

压电驱动线性位移台,分辨率可达1nm,可选择超高真空、无磁、低温等诸多环境选项。 17系列17mm宽8.5mm厚。 24系列24mm宽,10.5mm厚。

General Details

SLC系列直线纳米位移台

SLC-17系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重复精度
SLC-1720 12 mm 22 x 17 x 8.5 mm3 ± 25 nm
SLC-1730 21 mm 30 x 17 x 8.5 mm3 ± 30 nm
SLC-1740 26 mm 40 x 17 x 8.5 mm3 ± 40 nm
SLC-1750 31 mm 50 x 17 x 8.5 mm3 ± 50 nm
SLC-1760 41 mm 60 x 17 x 8.5 mm3 ± 60 nm
SLC-1770 46 mm 70 x 17 x 8.5 mm3 ± 70 nm
SLC-1780 51 mm 80 x 17 x 8.5 mm3 ± 80 nm

除SLC-1770和SLC-1780,可选低温实验(如液氦温度)版本,也可加热至+150℃.

SLC-24系列直线纳米位移台

型号 行程 尺寸 重复精度
SLC-2430 16 mm 30 x 24 x 10.5 mm3 ± 30 nm
SLC-2445 29 mm 45 x 24 x 10.5 mm3 ± 45 nm
SLC-2460 35 mm 60 x 24 x 10.5 mm3 ± 60 nm
SLC-2475 49 mm 75 x 24 x 10.5 mm3 ± 75 nm
SLC-2490 63 mm 90 x 24 x 10.5 mm3 ± 90 nm
SLC-24105 69 mm 105 x 24 x 10.5 mm3 ± 105 nm
SLC-24120 83 mm 120 x 24 x 10.5 mm3 ± 120 nm
SLC-24150 103mm 150 x 24 x 10.5 mm3 ± 150 nm
SLC-24180 123mm 180 x 24 x 10.5 mm3 ± 180 nm

SLC-2430, SLC-2445和SLC-2460,可选低温实验(如液氦温度)版本,也可加热至+150℃.

其他参数及选项

  • 开环步进:50-1500nm
  • 压电扫描范围>1.5μm
  • 压电扫描精度<1nm
  • 速度>20mm/s
  • 阻塞力≥3.5N
  • 垂直负载:3kg
    • 1720&2430: 2kg
  • 可选闭环驱动器及分辨率
    • -M: 100nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
    • -L: 4nm(MCS控制器), 50nm(HCU/CU控制器)
    • -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
  • 非磁性材料选项:-NM
  • 高真空和超高真空选项:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
  • 阻塞力增强选项:-D, +1.5N
  • 氧化发黑选项:-BK
  • 低振动模式选项:-LV
  • 长寿命导轨选项:-Z
产品特点
  • 亚纳米级高精度兼具大行程
  • 灵活组维,可做复杂系统定制
  • 小体积,大负载
  • 移动速度nm/s-cm/s
  • 可选真空(10-6 mbar)和超高真空(10-11 mbar)兼容
  • 可选用非磁性材料,
  • 可选超低温环境兼容
  • 高性能导轨,可选超长寿命
  • 断电可纳米级锁定
  • 低热漂移&高共振频率
  • 可选低振动模式适用于原子力显微等场景
应用领域
• 光学研究: 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节
• 扫描电镜/光学/原子力显微镜:样品、探测器/光源定位、样品操作
• 自动化控制:低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成
• 材料应用:缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量
• 天文、航天航空: 高加速度、低压、低温条件下控制
• 度量衡学:长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量
• 生命科学:细胞操作、膜片钳、计数&分选